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        產(chǎn)品分類Product categories
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        公司名稱:哈爾濱芯明天科技有限公司
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        產(chǎn)品名稱:小體積超精密電容測微儀

        產(chǎn)品型號:

        產(chǎn)品報價:

        產(chǎn)品特點:小體積超精密電容測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器,主要用于高精度長度(深度、高度、厚度、直徑、錐度)測量、振動測量、微位移檢測等,在航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應用。

        更新日期:2025-02-24

        小體積超精密電容測微儀的詳細資料:

        小體積超精密電容測微儀

        高精度測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器,分為電感式、電容式、激光式。主要用于高精度長度(深度、高度、厚度、直徑、錐度)測量、振動測量、微位移檢測等,在航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業(yè)測控等領(lǐng)域廣泛應用。


        本次為大家?guī)硪豢钚久魈煨◇w積超精密電容式傳感器。它由兩部分組成,分別為電容探頭及控制盒。電容探頭為非接觸式,尺寸為Φ10mm×18.5mm,通過電容測頭可以測量0~500μm范圍內(nèi)的微小位移,測量分辨率可達1.25nm??刂坪谐叽鐑H有105×26×66mm^3,單通道輸出,體積設(shè)計非常小巧,易集成。整體外觀如下圖所示。

        圖片

        產(chǎn)品特點

        測量范圍 0~500 μm
        分辨率可達1.25nm
        非接觸式測量
        體積小、易集成

        小體積超精密電容測微儀典型應用

        圖片

        電容式傳感器優(yōu)勢

        1.穩(wěn)定性好。電容傳感器的電容值通常與電極材料無關(guān),這有利于選擇具有低溫系統(tǒng)的材料,并且由于它產(chǎn)生的熱量很少,因此對穩(wěn)定性的影響很小。
        2.結(jié)構(gòu)簡單。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于確保高精度,并且可以做得很小,可以在特殊環(huán)境下測量,如高低溫、強磁等惡劣環(huán)境。
        3.動態(tài)響應良好。由于極板之間的靜電引力很小,其運動部分可以做得非常小和薄,因此固有頻率很高,動態(tài)響應時間短,并且可以在幾兆赫茲的頻率下工作,特別適合動態(tài)測量。
        4.非接觸式測量。使用非接觸式測量時,可以減小工作表面粗糙度對測量的影響。

        系統(tǒng)組成

        芯明天電容測微儀由兩部分組成,分別為電容測頭/電容傳感器、傳感信號處理控制模塊。

        (1)電容測頭/電容傳感器

        圖片

        芯明天該款電容測頭(即電容傳感器)是圓柱型,采用平行極板原理,當被測物與電容測頭間的距離發(fā)生變化時,它可將這種距離變化轉(zhuǎn)換為相應的容抗變化。
        圖片

        原理圖


        技術(shù)參數(shù)
        型號
        C01D10
        C02D10
        C05D10
        單位
        量程范圍
        0~100
        0~200
        0~500
        μm
        靜態(tài)分辨率
        1.25
        2.5
        5
        nm
        動態(tài)分辨率
        (1kHz)
        50
        100
        200
        nm
        線性度
        50
        100
        200
        nm
        重復度
        2.5
        5
        10
        nm
        傳感器直徑
        10
        mm
        被測表面
        最小直徑
        10
        mm
        傳感器線長
        1.5
        m
        固定方式
        徑向裝夾

        探頭尺寸
        Φ10×18.5
        mm
        重量
        (含線及連接器)
        55
        g



        注:可定制1mm量程版本。



        (2)傳感信號處理控制模塊

        傳感信號處理控制模塊是專為匹配芯明天電容傳感器而研發(fā)設(shè)計,主要功能是將電容傳感器的位移信號轉(zhuǎn)換為電信號。它具有小巧緊湊的外形,非常適用于實驗室及工業(yè)等各種場合的應用。


        圖片

        技術(shù)參數(shù)
        控制器型號
        E75.CapA1-H
        單位
        通道數(shù)
        1

        靜態(tài)分辨率
        0.00125
        %F.S.
        動態(tài)分辨率
        0.05 (2kHz)
        %F.S.
        模擬信號輸出速度
        2
        kHz
        絕對誤差
        ±0.2
        %F.S.
        線性度
        0.05
        %F.S.
        重復精度
        0.0025
        %F.S.
        信號溫度穩(wěn)定性
        <0.005
        %FSO/℃
        長期穩(wěn)定性
        <0.04
        %FSO/月
        帶寬
        2
        KHz(-3dB)
        工作溫度
        +10~+50
        存儲溫度
        -10~+75
        環(huán)境濕度
        <85
        %
        供電電壓
        24VDC/±50mA
        V
        電壓輸出范圍
        (模擬)
        0~10
        V
        傳感器輸出接口
        SMA

        尺寸(L×W×D)
        105×26×66
        mm
        重量
        0.18
        kg



        此外,芯明天具有模塊化的電容傳感器信號處理控制模塊 - E09.CAP系列,它的測量通道數(shù)可在1至12通道間自由選擇,同時也可根據(jù)需求定制更多的測量通道數(shù)。

        圖片

        芯明天E09.CAP系列電容傳感信號處理模塊


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