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        產品名稱:CAP電容測微儀系列

        產品型號:

        產品報價:

        產品特點:CAP電容測微儀系列通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移,測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成,可組成多通道測量。

        更新日期:2025-02-24

        CAP電容測微儀系列的詳細資料:


        E09.Cap電容非接觸式測微儀,通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移,測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成,可組成多通道測量。

        CAP電容測微儀系列特性:

        • 模塊化設計、自由組拼

        • 可提供單個板卡模塊

        • 高分辨率 • 模擬輸出

        • 非接觸式測量

        原理

        它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極,采用保護環(huán)電容器原理,用于測量任何金屬 時,傳感器仍是線性的。

        應用:

        • Z向水準測量 •  X, Y向定位

        • 軸向振動測量

        • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器


        CAP電容測微儀系列技術參數(shù)

        型號

        E09.Cap

        單位

        量程范圍

        0~200

        μm

        線性度

        ±0.1

        μm

        靜態(tài)分辨率

        2.5

        nm

        動態(tài)分辨率(1kHz)

        100

        nm

        傳感器直徑

        10

        mm

        小目標直徑

        10

        mm

        靜態(tài)重復性

        5

        nm

        信號溫度穩(wěn)定性

        < 0.005

        %FSO/℃

        長期穩(wěn)定性

        < 0.04

        %FSO/ 月

        帶寬

        2

        kHz(-3dB)

        工作溫度范圍

        +10~+50

        環(huán)境濕度

        <85

        %

        電壓輸出范圍

        0~+10

        V

        供電電壓

        220VAC 50Hz±10%


        傳感器線長

        1.6

        m

        板卡尺寸:長×高× 深

        35×130×180

        mm

        機箱尺寸:長×高× 深

        280×170×360

        mm


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