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        公司名稱:哈爾濱芯明天科技有限公司
        聯(lián)系人:楊先生
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        地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學(xué)府路191號(hào)創(chuàng)業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層

        產(chǎn)品名稱:P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)

        產(chǎn)品型號(hào):

        產(chǎn)品報(bào)價(jià):

        產(chǎn)品特點(diǎn):P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80&amp;amp;amp;amp;#215;80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

        更新日期:2025-02-24

        P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)的詳細(xì)資料:

        P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

        特性:

        •  θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng) • 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄


        應(yīng)用實(shí)例

        P54系列壓電偏擺臺(tái)以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光等領(lǐng)域。

        典型應(yīng)用

        • 光束掃描 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲

        • 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

        • 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整

        閉環(huán)傳感精度高

        P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化,使角度偏移達(dá)到小,無(wú)空回、無(wú)摩擦。

        采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad,分 辨率高達(dá)0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現(xiàn)0.1%F.S. 的重復(fù)定位精度。

        臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為 80×80mm,P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計(jì)量、定位等應(yīng)用的選擇。

        負(fù)載大鏡片

        P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透 射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。


        推薦控制器

        E01

        E72

        E70


        頁(yè)碼 157

        頁(yè)碼 163

        頁(yè)碼 167





        3路輸出

        3路輸出

        3路輸出


        上位機(jī)通信、模擬、旋鈕

        模擬、上位機(jī)通信

        模擬與數(shù)字控制


        開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

        開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

        開(kāi)環(huán)/閉環(huán)


        平均功率7W/通道

        平均功率6W/通道

        平均功率5W/通道


        P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺(tái)技術(shù)參數(shù):


        型號(hào)

        尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

        P54.T2S P54.T2K


        單位

        運(yùn)動(dòng)自由度

        θx, θy


        標(biāo)稱偏擺角度 (0~+120V)

        ±0.8/ 軸

        mrad±20%

        大偏擺角度 (-20~+150V)

        ±1.1/ 軸

        mrad±20%

        傳感器類型

        SGS/-


        閉/開(kāi)環(huán)偏擺分辨率

        0.25/0.05

        μrad

        閉環(huán)線性度

        0.2/-

        %F.S.

        閉環(huán)重復(fù)定位精度

        0.1/-

        %F.S.

        推/拉力

        40/8

        N

        運(yùn)動(dòng)方向剛度

        0.5

        N/μm±20%

        空載諧振頻率

        300

        Hz±20%

        閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

        20/3.5

        ms±20%


        閉環(huán)空載 工作頻率

        10%行程

        50


        Hz±20%

        行程

        15

        大承載

        1

        kg

        靜電容量

        3.6/ 軸

        μF±20%

        材質(zhì)

        鋁、鋼


        重量

        510

        g±5%

        以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。


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