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         歡迎來哈爾濱芯明天科技有限公司！我們將為您提供到位的服務！
        
        
        
        	
        
                    
                    
          
        
        
        
    
        

        



        
  
        
    
        
      
          
        
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        公司名稱：哈爾濱芯明天科技有限公司
        聯系人：楊先生
        固話：0451-86268790
        手機：17051647888
        地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產業(yè)園I2棟1層
  
        

        

        


  
        
    
        首頁 > 產品中心 > 壓電納米掃描臺系列 > 放大機構式 > 芯明天放大機構式壓電掃描臺
          
            
        
     
             
        
                  
                  
        
				     
        產品名稱：芯明天放大機構式壓電掃描臺
        
				     
        產品型號：P-18系列
        					 
					 
        產品報價：
        
					 
        產品特點：芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為&#216;35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。
        
					 
        更新日期：2025-02-23
        
					 
				  
        
             
        
        
       
      
        
		     
             
    
        P-18系列芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料：
        
    
          芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。
        芯明天放大機構式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性
        • 大位移370μm
        • 大承載3.5kg
        • 通孔直徑：Ø35mm
        • 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快
        1~3維掃描臺
        P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。
        大位移、大承載、高剛度、高頻響
                P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動，可以 實現大370μm的掃描范圍，運動直線性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復定位精度。
                P18采用*的結構設計，具有大剛度、大出力、大承 載等特點，大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配 套芯明天大功率控制器響應時間可達5ms，是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應用。
        P-18壓電掃描臺典型應用
        • 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微
        • 干涉/計量 • 表面檢測
        • 半導體測量 • 光學計量
        應用實例-納米光刻
         在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應用于納米光刻實驗。
        P-18壓電掃描臺技術參數：
         
        型號
         
        尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)
         
        P18.X200S P18.X200K
         
        P18.X300S P18.X300K
         
        P18.XY200S P18.XY200K
         
        P18.XY300S P18.XY300K
         
        P18.XYZ200S P18.XYZ200K
         
        單位
        運動自由度
        X
        X
        X、Y
        X、Y
        X、Y、Z
         
        標稱行程范圍(0~120V)
        200
        300或±150
        200/軸
        300或±150/軸
        200/軸
        μm±20%
        大行程范圍(-20~150V)
        280
        370或±185
        280/軸
        370或±185/軸
        280/軸
        μm±20%
        傳感器類型
        SGS/-
        SGS/-
        SGS/-
        SGS/-
        SGS/-
         
        通孔尺寸
        Ø35
        Ø35
        Ø35
        Ø35
        Ø35
        mm
        閉/開環(huán)分辨率
        8/5
        10/5
        8/5
        10/5
        8/5
        nm
        閉環(huán)線性度
        0.2/-
        0.2/-
        0.2/-
        0.2/-
        0.2/-
        %F.S.
        閉環(huán)重復定位精度
        0.15/-
        0.1/-
        0.15/-
        0.1/-
        0.15/-
        %F.S.
        俯仰/偏航/滾動
        <10
        <15
        <10
        <15
        <15
        µrad
        推/拉力
        60/20
        150/150
        60/20
        150/150
        30/10
        N
        運動方向剛度
        0.3
        0.5
        X0.3/Y0.3
        X0.5/Y0.5
        X0.1/Y0.1/Z0.1
        N/μm±20%
        空載諧振頻率
        500
        600
        X200/Y450
        X250/Y500
        X300/Y200/Z120
        Hz±20%
        閉/開環(huán)空載階躍時間
        30/5
        30/10
        50/5
        50/10
        50/5
        ms±20%
         
        閉環(huán)空載 工作頻率
        10%行程
        100
        50
        50
        40
        30
         
        Hz±20%
        行程
        30
        15
        15
        10
        5
        大承載
        2
        3.5
        1.5
        3
        1
        kg
        靜電容量
        11
        21
        11/軸
        21/軸
        11/軸
        μF±20%
        材質
        鋁
        鋁
        鋁
        鋁
        鋁
         
        重量
        200
        220
        360
        380
        600
        g±5%

        以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
         
        
    
    
      
        
                      
        
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          補充說明：
          
			
          
		
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                請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7
            
          
		
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        全國統(tǒng)一客服電話：
        
        
        17051647888
        
        地址：黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產業(yè)園I2棟1層
      
        
    
        
    
        
      
        聯系人：楊先生
        手機號碼：17051647888
        固定電話：0451-86268790
        
      
        
    
        
  
        
   
        
			
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